温度和湿度控制不好对洁净车间造成的影响

　　洁净厂房的使用有严格的要求。如果车间内的相对湿度控制不好，可能会降低洁净车间的整体性能，并带来一系列的影响。有什么影响?我们一起去看看。

　　1.细菌生长。细菌和其他生物污染(霉菌、病毒、真菌、螨虫)能在相对湿度大于60%的环境中主动繁殖。当相对湿度超过30%时，一些菌落可以生长。当相对湿度在40%-60%之间时，可将细菌和呼吸道感染的影响降到最低。因此洁净厂房的相对湿度需要控制在一定范围内。

　　2.洁净厂房内相对湿度控制不好，易造成金属腐蚀。许多化学反应的速度，包括腐蚀过程，都会随着相对湿度的增加而加快。车间周围暴露在空气中的所有表面都迅速被至少一层水覆盖。当这些表面由与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度会加速反应。一些金属，如铝，可以形成具有水的保护性氧化物层并防止进一步的氧化反应;另一种金属，如氧化铜，没有保护能力。在高湿度环境中，铜表面更容易受到腐蚀。

　　3.如果洁净车间的相对湿度控制不好，会产生静电。当相对湿度大于50%时，静电荷开始迅速消散，但当相对湿度小于30%时，它们可以长时间存在于绝缘体或不接地表面上。洁净厂房的相对湿度在35%-40%之间，是一个令人满意的折衷方案。半导体车间通常使用附加的控制装置来限制静电的积聚。

　　4.吸水性。相对湿度控制不好，对洁净厂房的吸水量有一定影响。

　　5.水蒸气凝结。在相对湿度较高的洁净车间环境中，浓水的毛细力在颗粒与表面之间形成连接键，从而增加颗粒与硅表面的粘附力。这种效应称为开尔文浓度，即当相对湿度小于50%时，它并不重要，但当相对湿度约为70%时，它就成为颗粒间粘附的主要作用力。

　　6.洁净厂房的湿度在40%-60%之间也是人体舒适度的适宜范围。如果洁净车间的湿度太高，人们会感到闷热。如果湿度低于30%，人们会感到皮肤干燥、皲裂、呼吸不适和情绪不快，从而影响工作。

　　另外，洁净车间在相对湿度较高的环境中，由于吸水，光刻胶在烘烤周期后的膨胀加剧。较高的相对湿度也会对光刻胶的附着力产生负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶的附着力更容易，甚至不需要六甲基二硅氮烷(HMDS)等聚合改性剂。

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